簡要描述:光電輪廓儀的應用範圍很廣,它主要用於測量各種精密加工零件表麵的微觀三維結構,如表麵粗糙度;零件表麵的刻線;刻槽的深度和鍍層的厚度等。具體地說,如量塊、光學零件表麵的粗糙度;標尺、度盤的刻線深度;光柵的槽形結構;鍍層厚度和鍍層邊界處的結構形貌;磁(光)盤、磁頭表麵結構測量;矽片表麵粗糙度及其上圖形結構測量等等。
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